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          中芯國際電子特氣系統

            電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業,或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發展,對電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的的凈化愈加關鍵和重要。國內的超高純度凈化技術主要依賴進口,自身的技術水準(6N)與國際先進水平(8-9N)有較大差距。


            本項目將設計和研發一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑,對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個系列,50多種電子特氣進行末端凈化,使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級,并將特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小,從而極大地改善工藝能力,降低產品缺陷, 提高制程的產量,滿足下一代半導體、微電子以及相關高技術發展的需要。


            本項目將形成有自主知識產權的超高純度電子特氣凈化技術,解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術的國產化問題。


          項目成果
          推薦案例
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