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          電子特氣系統:


          特氣系統是指特種氣體的儲存、輸送與分配過程的設備、管道和部件的總稱。特氣系統工程是用于實現特氣系統安全使用的工程。


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          特氣系統組成及特氣分類


          特氣系統組成:由儲存、輸送、分配、控制四類設備組成。其中“存儲”指氣源部分(特氣柜GC),“輸送”指配管部分(一般用雙套管),“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB),“控制”指監督控制部分(氣體管理系統GMS)。

          特氣分類:電子特氣根據氣體性質不同一般分自燃氣體、易燃爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;所以對應的特氣系統也按此分為四類。


          特氣系統特點:


          特氣系統中的每臺設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警,并可擴展地震監控報警;單臺設備可以獨成系統獨立運轉,也可多臺設備用PLC或TGO連起來組成大系統,在監控中心統一監控管理,其報警系統還可以與安監系統、消防系統對接。



          應用行業及設備:


          芯片半導體、微電子企業、光伏太陽能、生物制藥、新材料等行業,常配套用于濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等設備。



          電子特氣工程純度要求:


          特種氣體要求超純、超凈。純度每提升一個 N 以及粒子、金屬雜質含量濃度每降低一個數量級都將帶來工藝復雜度和難度的顯著提升。例如,12吋、90nm制程的集成電路制造技術要求電子特氣的純度要在 5N~6N 以上,有害的氣體雜質濃度需要控制在 ppb(10-9);在更為先進的28nm 及目前國際一線的 6nm~10nm 集成電路制程工藝中,電子特氣的純度要求更高,雜質濃度要求甚至達到 ppt(10-12)級別。


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          特種氣體管道的施工


          特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接,同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序,對施工的質量和程序進行嚴格的監控和管理。最后整個系統還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質的測試。


          其現場基本的施工程序為:施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預制間的搭設﹣→施工機具的準備﹣→施工人員的培訓﹣→預制圖紙的編寫﹣→管道的預制﹣→管道的現場安裝﹣→系統檢測﹣→系統驗收


          特氣系統檢測:


          a. 設備安裝完成后,按照系統要求的基本功能逐一測試。

          b. 系統運行正常,聯機測試通過。

          c. 如商檢或設備測試中發現設備性能指標或功能上不符合招標文件和合同時,將被看作性能不合格,設備使用單位有權拒收并要求賠償。

          d. 我公司負責在項目驗收時將系統的全部有關產品說明書、原廠家安裝手冊、技術文件、資料、及安裝、驗收報告等文檔交付設備使用單位。

          e. 針對以上情況及實際工作壓力,參考《國家工業管道安裝及驗收規范》(GB50235-2010)、《現場設備、工業管道焊接工程施工及驗收規范》(GB50236-2010)等部分有關規定,對本項目氣體管道壓力試驗及凈化制定具體方案。


          設計規范及參考:


            設計規范及參考:

            1. 氣體控制系統設計準則及設計依據

            A. GB50016-2014: 建筑設計防火規范

            B. GB 13690-92: 常用危險化學品的分類及標志

            C. GB15603-1995: 常用化學危險品貯存通則

            D. GB50084-2017: 自動噴水滅火系統設計規范

            E. GB50116-2013: 火災自動報警系統設計規范

            F. GB50058-2014: 爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范

            G. GB50019-2003: 采暖通風和空氣調節設計規范

            H. GB 50646-2020: 特種氣體系統工程技術規范

            I. GB50724-2011: 大宗氣體純化及輸送系統工程技術規范

            2. 氣體安全監察規程

            A. GBZ1-2010 工業企業設計衛生標準

            B. GB 50231-2009 機械設備安裝工程施工驗收通用規范

            C. HG/T20203-2017 化工機器安裝工程施工及驗收規范(通用規定)

            D. GB50274-2010 制冷設備及空氣分離設備安裝工程施工及驗收規范

            E. GB 50235-2010 工業金屬管道工程施工及驗收規范

            F. GB50268-2008 給排水管道工程施工及驗收規范

            G. GB 50243-2016 通風與空調工程施工及驗收規范

            H. GB 50236-2011 現場設備、工業管道焊接工程施工及驗收規范

            I. GB50257-2014 電氣裝置安裝工程爆炸和火災危險環境電氣裝置施工及驗收規范

            J. GB 50254-2014 電氣裝置安裝工程低壓電器施工及驗收規范

            K. GB50259-96 電氣裝置安裝工程電氣照明裝置施工及驗收規范

            L. GB 50168-2018 電氣裝置安裝工程電纜線路施工及驗收規范

            M. GB 50169-2016 電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗收規范

            N. GB50150-2016 電氣裝置安裝工程電氣設備交接試驗標準

            O. GB50093-2013 工業自動化儀表工程施工及質量驗收規范

            P. GB50300-2013 建筑工程質量驗收統一標準

            Q. GB 50252-2010 工業安裝工程質量檢驗評定統一標準

            R. GB 50184-2010 工業金屬管道工程質量檢驗評定標準

            S. GBJ 303-88 建筑電氣安裝工程質量檢驗評定標準

            T. GB50131-2007 自動化儀表安裝工程質量檢驗評定標準

            U. GB50185-2010 工業設備及管道絕熱工程質量檢驗評定標準

            V. Piping Connection Design 管道及接頭鏈接設計


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