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        1. 16路特氣分配柜(VMB)

          16路特氣分配柜(VMB)


          16路特氣分配柜(VMB)(Valve Manifold Box),是一種內嵌多支路,實現高純氣體或液體分流的閥門箱。


          VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點,壓力可被單獨地調控,從而可同時滿足不同應用的需求。


          它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能,因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維護VMB的每一部份。


          除此以外,設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下,吹掃某一支路或對其進行真空抽氣。


          ST2100 VMB通過采用安裝的壓力表、手動閥等裝置,具有成本低的優勢,能夠實現設備安全有效的運行,同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。

          16路特氣分配柜(VMB).jpg


          適用氣體:


          易燃性,腐蝕性,毒性氣體,諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。


          適用行業:


          Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校實驗室等。




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