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2021-03-27
半導體設備Gas Box(氣柜)設計的得力助手
隨著集成電路芯片制造的工藝越來越先進,目前的工藝制程已達到7納米,下一步目標將是5納米。制造工藝技術的不斷提升帶來的變化就是需要使用更多新材料、特殊氣體。
2021-03-27
高純氣體管道配管
高純氣體管道配管所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設備用點(POU),為了達到工藝對氣體的質量要求,在氣體出口指標一定的情況下,則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。除取決于制氣或凈化設備的精度外,在很大程度上受到管路系統諸多因素的影響,因此,管材的選取應恪守相關行業原則,并在圖紙中注明管道材質。
2021-03-27
實驗室氣路規劃安裝設計的注意事項?
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