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        1. 雙瓶全自動特氣柜

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          雙瓶全自動特氣柜


          型號:HSPGC150107

          特氣柜尺寸:W550寬×D500深×H1800高

          ■ 外吹掃:PN2,1/4"MVCR接口

          ■ 抽真空:GN2,1/4"MVCR接口

          ■ 氣動隔膜閥:CDA驅動,1/4"卡套接口

          ■ VENT排空管:1/2MVCR接口

          ■ 工藝氣體出口:2個,1/4"MVCR接口

          ■ 盤面規格:1/4"盤面

          ■ 標準配備:防爆防腐柜體,防爆自鎖門,防爆玻璃觀察窗,泄漏報警,遠程切斷,欠壓報警,主材SS316L

          ■ 柜體換氣量:4"排氣口,1200次/小時

          ■ 控制柜尺寸:W550寬×D230深×H320高

          ■ 控制柜電源:220VAC,50HZ,200W,漏電保護

          ■ 操作界面:7"彩色觸摸屏

          ■ 選配:工藝氣瓶重量監控器,工藝氣體超壓報警,盤面加熱及溫控裝置,報警信號手機短信與電話通知

          雙瓶全自動特氣柜.jpg


          適用范圍:應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上,適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。


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